:2020年中国晶圆祄u驳鏺a盘chanye趋于jin一步ji中[图]

2021年01yue25日 13:13:12字hao:T|T

一、市chang规mo快su增长，未来jin口替代空间大

静电ka盘是半导ti设备的he心zu件之一，对于控制晶圆的温度（加热ji冷却）至guan重要。静电ka盘（简称 ESC huo者 E-CHUCK）具有高稳定性、晶圆平坦度高、颗粒污染xiao、边缘效yingxiao等you势，膋e耙裧uang泛ying用在等离子和真縵hani的半导ti工yiguocheng謝iao�

下游ji成电路chanye的蓬勃发zhanji巨大的xu求配he积极的国家chanye政ce与活跃的社会zi本，正在全方位、多角度地推动ESC行襠ao剑夜鶨SC厂商chuang造了机遇。行yexu求不断增加，市chang规mo不断扩大，据统计2014年我国晶圆祄u驳鏺a盘市chang规mo为1197万元，2019年我国晶圆祄u驳鏺a盘市chang规mo增长至5349万元。

2014-2019年中国晶圆祄u驳鏺a盘市chang规mozou势

zi料来源：智研咨询zheng理

智研咨询发布的《2021-2027年中国晶圆祄u驳鏺a盘行ye市chang全景分析ji发zhan趋势褁in縝ao告ei菹允荆壕驳鏺a盘行ye具有较高的糺i酢i金要求，呈现高度的long断性，基本被国外品paichan品誮i荨Ｎ夜г驳mu驳鏺a盘市changyijin口chan品为主。2018年，北京华卓精科公司wan成PVD静电ka盘的研制，da破了国外对静电ka盘chan品的工yi糺i鮨ong断，觴ing鹍a破现有chanyegeju。相guan数据表明，2019年我国jin口chan品规mo为96.9%，未来国chanchan品jin口替代空间大。

2014-2019年我国晶圆祄u驳鏺a盘jin口chan品规mo份额

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二、国chan静电ka盘糺i跬黄�

静电ka盘行ye主要由美国AMAT、美国LAM、日本新光电气、日本TOTO等日、美国qiye主导。我国静电ka盘参与qiye相对较少，华卓精科静电ka盘chan品在国chan制造商中处于领先地位。但国内hen多高xiao、褁in炕鷊ou襶ue案咝录ji鮭iye开shi纷纷将目光投xiang静电ka盘的褁in俊Ｆ渲薪暇叽硇缘难xin扛選iao包kuo清华大学、北京大学、大连理工大学、北京工ye大学等，褁in炕鷊ou包kuo中国科学院wei电子褁in縮uo、中国电子科技ji团公司第四十八褁in縮uo等，参与静电ka盘研制开发的高新糺i鮭iye包kuo北方wei电子公司、中wei半导ti设备有限公司、中xin国jiji成电路制造有限公司、北京华卓精科科技股份有限公司等。

各方努力共同推动了我国静电吸盘（ESC）等半导ti配套设备国chanhua稳步jin衳iao＞驳鏺a盘cong2014年的4tai增长dao了2018年的21tai。除了北京华卓精密科技襤uan襨eyi生chan成熟祄uг驳mu驳鏺a盘chan品外，其他qiye如guang东海tuochuang新精密设备、北京软ti机qi人、浙江新纳陶瓷新材等公司祄u驳鏺a盘chan品尚处于研发阶duan，膋e敖瞿躩in衳in驳缥痰奈抟yue案黨uan，生chan方面尚不成熟。

2014-2019年中国晶圆祄u驳鏺a盘行yechan羕e閗uang

zi料来源：智研咨询zheng理

晶圆祄u驳鏺a盘行ye客户主要是ji成电路设备生chanqiye，xu求也主要分布在下游较为ji中的华东、华北地区。2014年我国晶圆祄u驳鏺a盘行yexu求量yue46tai，dao2019年增长dao了131tai。jin几年我国晶圆祄u驳鏺a盘行yexu求羕e閗uang如下图suo示：

2014-2019年中国晶圆祄u驳鏺a盘行ye销羕e閗uang

zi料来源：智研咨询zheng理

未来chanye趋于jin一步ji中

我国晶圆祄u驳鏺a盘行ye发zhan时间不长，国内的糺i鮯hui平与国jishang的糺i鮯hui平存在较大的差距。当前我国晶圆祄u驳鏺a盘糺i跬黄朴邢蓿谑衏hang基本被国外龙头qiyelong断。但随着中国静电ka盘糺i跹蟹⒌牟欢仙钊耄ぜ莆蠢粗泄xing迪旨ji跬黄疲琩a破国外qiyelong断祄u置妫迪謏in口替代。

未来，随着市chang竞争jin一步加剧，具有糺i酢⑵穚ai、人才和zi金you势的厂商将通guozi本运作的方式将成为潜在的行yezhenghe者，行ye内的兼并shou购将不ke避免。缺乏糺i鮟huang新、服务能力和独特商yeying用mo式的qi襠ao鸩奖惶詔ai，竞争实力较弱的中xiao厂商数量将大幅减少，chanye趋于jin一步ji謝iao�